一期主要鎖定6吋SiC晶圓，今年底再公告關鍵材料推動二期，經濟部官員說，這次再編約3億台幣，從2024進行到2025年，主要補助下階段的8吋SiC晶圓，聚焦長晶用石墨坩堝、多晶AlN基板、晶錠切割材、磊晶／元件製程材料開發