1972年，日本東京大學的藤嶋昭觀察到二氧化鈦（TiO2）在紫外光的照射下，會把水分子分解成氫氣，因而發現二氧化鈦的光化學特性。隨著環保意識高漲，其特性引起世界各國的重視，近年研究發現許多半導體材料皆具有光觸媒特性，目前常見的有磷化鎵（GaP）、砷化鎵（GaAs）及二氧化鈦