關鍵設備極紫外光（EUV）機台獨家製造商艾司摩爾（ASML）執行長Peter Wennink率領高層拜訪三星，雙方尋求技術與投資合作，三星並希望能搶在台積電之前，取得艾司摩爾下一代EUV設備供應。三星有意投資研發高數值孔徑（High-NA）EUV，該設備價格估計一部要價5,000億韓元（約新台幣130億元），是目前主流EUV機台的兩到三倍。艾司摩爾預定2023年中引介此類設備原型機，三星希望能搶在台積電前拿到該設備，以期能在製程技術上取得領先。