半導體領袖齊聚打造南部半導體創新樞紐 晶創主機Nano 5驅動半導體產業創新與升級成果發表
為因應電動車、5G與低軌衛星等高效能電力電子元件日益增長的需求，國家實驗研究院國家儀器科技研究中心與鼎極科技攜手合作，共同開發「紅外線奈秒雷射應用於碳化矽(SiC)晶圓研磨製程」的關鍵技術。此一突破性成果成功提升碳化矽晶圓研磨速率與品質，顯著降低製程成本與材料損耗，有效回應產業界對於高效率、低損耗製程的迫切需求，並為國產化合物半導體功率元件量產鋪路，拓展未來電動車、再生能源、資通訊設備等民生應用場域的發展潛力。
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