台灣艾司摩爾主管今指出，該公司都稱微影設備，光刻機則是中國的叫法，台灣半導體業都稱為曝光機。

艾司摩爾自稱微影設備 認證中國叫光刻機 - 自由財經

台灣艾司摩爾主管表示，Lithography此字來自古希臘語 λίθος，lithos 為石頭意思，γράφειν，graphein '書寫'）為一種平版印刷法，代表刻在石版上，中國直接翻譯為光刻機，「光刻機是中國說的，台灣半導體業界不會這樣說，稱曝光機或有的講Stepper」。