1901年（明治34年）廢縣置廳，將臺灣劃分為20個廳，桃園地區大部分屬桃仔園廳，下轄大嵙崁、三角湧、大坵園、楊梅壢、鹹菜硼、中壢等六支廳，1905年（明治38年）桃仔園廳更名為桃園廳。1909年（明治42年）全台20廳裁併為12廳，但桃園廳轄區不變